近幾年，台積電坐穩晶圓代工龍頭老大，在先進製程超越三星、英特爾等對手，後來在 EUV（極紫外光） 量產也領先，技術上彎道超車英特爾。但台積電前研發副總、浸潤式微影之父林本堅日前回憶一段往事，提到台積電早年發展相當艱辛，2002年英特爾號召業界成立EUV LCC聯盟，台積電也想加入，但當初只限6家廠商，最後一個名額被IBM搶走，台積電就被排除在外，不過台積電轉往浸潤式微影技術發展，後來EUV 量產領先，甚至超車當年成立聯盟的英特爾。

財訊快報報導，林本堅日前受訪時表示，2002年英特爾拉攏摩托羅拉、AMD（超微）等公司成立EUV LCC聯盟，希望大家共同出資研發EUV設備，並應用於未來的40奈米與60奈米。

當時台積電也希望加入EUV聯盟，但因當初只限定6家廠商，IBM搶走最後一個名額，台積電無緣，而被排擠在外。

林本堅表示，台積電無法參與EUV聯盟，只好自己想辦法，轉而研發浸潤式（Immersion）微影技術，直到近幾年的5奈米製程，才採用艾司摩爾的EUV機台設備。

當年EUV聯盟的半導體企業中，除了英特爾之外，其他5家已退出晶片製造，而截至目前為止，英特爾尚未進入EUV量產，從先進製程技術來看，台積電反而大幅超前，穩居全球晶圓代工一哥寶座。

對於台積電來說，現年79歲的前研發副總經理林本堅是台積電先進技術躍進重要推手，他在IBM工作22年後，選擇在美國自行創業將近10年，2000年在蔣尚義力邀下，加入台積電團隊，並在2002年開始推動浸潤式微影技術，此項技術對全球半導體產業及台積電先進製程貢獻極大。

（中時新聞網 吳美觀）

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